1、激光干涉儀測量三坐標(biāo)示值誤差
隨著三坐標(biāo)測量機(jī)技術(shù)的更新和發(fā)展,傳統(tǒng)的測量檢測手段已經(jīng)難以滿足大型三坐標(biāo)測量機(jī)的檢測要求,在實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器無法滿足測量要求時(shí),使用激光干涉儀進(jìn)行位置示值誤差檢測。從而減少系統(tǒng)誤差,保證三坐標(biāo)測量機(jī)的穩(wěn)定運(yùn)行和測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確可靠。
2、位移傳感器檢測
激光干涉儀檢定位移傳感器的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢,其特點(diǎn)是測量精度高,反應(yīng)速度快,易于數(shù)字化測量。通常,設(shè)計(jì)一個(gè)精密導(dǎo)軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比:即位移傳感器自動檢測系統(tǒng)與激光干涉儀定位進(jìn)行測試對比,得出往復(fù)測試實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
3、檢定測長機(jī)
測長機(jī)作為計(jì)量檢測室里的主力設(shè)備,使用頻率高,通用性強(qiáng),需要定期進(jìn)行檢測。
傳統(tǒng)的測長機(jī)分米刻度尺示值誤差是用三等大量塊及分段專用檢具進(jìn)行檢定,該方法對環(huán)境要求高,標(biāo)定方法繁瑣,如何準(zhǔn)確地標(biāo)定測長機(jī)的分米刻度尺示值誤差,是測長機(jī)檢定中不可避免的問題。
利用激光干涉儀標(biāo)定測長機(jī)的分米刻度尺示值誤差,快捷,準(zhǔn)確,可有效消除儀器溫度及環(huán)境溫度對檢定結(jié)果的影響。